智能控制：采用气动平起式开盖方式。Zui大开盖度：300mm，设有上、下位置开关，保证灵敏可靠。

电源电压：ac380v/3相/，供电平衡。，设备Zui大功率75kw，正常工作低于20kw，加热板Zui高温度：180度。

高效节能：独特的油路设计，特殊制造工艺，加热板平整度±0.2mm满足超薄硅片的封装要求。

温控方式：西门子专业温度采集模块（rtd）多点温度监测采样进行pid整定调节控制固态输出，温控精度高、安全可靠。

操作控制方式：采用海泰克触摸屏与plc组成控制系统，控制灵敏可靠。

胶板安装方式：快速卡钳式安装，